Uso de ar comprimido em circuitos integrados

Acionamento de equipamentos de controle pneumático e automação

Nas linhas de produção de circuitos integrados, os equipamentos altamente automatizados são o elemento central. O ar comprimido serve comoAr limpo e secoÉ amplamente utilizado como fonte de energia para componentes pneumáticos. Aciona diversos tipos de válvulas pneumáticas, cilindros e braços robóticos, garantindo a transferência e o posicionamento precisos das wafers em todas as etapas do processo. Devido à sua rápida resposta e ao movimento suave, o ar comprimido assegura eficazmente a estabilidade do ritmo produtivo e a eficiência operacional dos equipamentos.

Manutenção do ambiente de sala limpa e controle da contaminação

A fabricação de circuitos integrados requer a realização em salas limpas de padrão extremamente elevado. O sistema de ar comprimido, ao fornecer continuamente à sala limpa ar rigorosamente filtrado, ajuda a manter as condições internas…Estado de micropressão positivaEsse ambiente de pressão positiva consegue impedir eficazmente a penetração de ar externo não filtrado e de partículas na área de produção. Além disso, durante a manutenção do equipamento ou em intervenções locais, o ar comprimido também é utilizado para isolamento temporário e para o controle da organização do fluxo de ar, prevenindo a contaminação cruzada.

Limpeza por sopro e secagem da superfície do wafer

Após processos como a limpeza hídrica e o polimento químico‑mecânico de wafers, restam na superfície líquidos ou partículas microscópicas. Ar comprimido de alta pressão e extremamente limpo é utilizado paraPurificação superficial, a fim de remover as partículas aderidas. Ao mesmo tempo, em determinados processos de secagem, o ar comprimido, associado a outros meios, pode acelerar a evaporação e a remoção da umidade da superfície do wafer, evitando que resíduos de água comprometam os subsequentes processos de litografia ou gravação.

Ar para instrumentação e auxiliares de processo

Nas fábricas de semicondutores, encontram‑se numerosos instrumentos de medição e equipamentos de análise de alta precisão. O ar comprimido fornece estabilidade a esses instrumentos e aparelhos.Fonte de energia pneumáticae gases de proteção, garantindo a precisão dos dados de medição. Em determinados processos auxiliares não críticos, como o resfriamento interno de equipamentos, a acionamento de ferramentas pneumáticas e a purga e o teste de pressão dos sistemas de tubulação, o ar comprimido também desempenha um papel insubstituível.

Padrões de qualidade do ar comprimido

Devido à extrema sensibilidade dos circuitos integrados a partículas e à umidade, o ar comprimido utilizado na linha de produção deve atender a rigorosos padrões de qualidade. Em geral, é necessário instalar sistemas de filtragem em múltiplos estágios para remover óleos, umidade e partículas na faixa de micrômetros do ar. O ar…Ponto de orvalho da pressãoÉ necessário manter os níveis extremamente baixos para evitar a condensação no interior das tubulações e dos equipamentos. A tecnologia de compressão isenta de óleo e os secadores de alta eficiência constituem a configuração básica para garantir a segurança na produção de circuitos integrados.