Requisitos para sistemas de compressores de ar isentos de óleo aplicáveis às fábricas de semicondutores
A fabricação de semicondutores impõe exigências extremamente rigorosas quanto à pureza do ar comprimido; partículas oleosas podem contaminar as linhas de produção de wafers. Os compressores de parafuso isentos de óleo, graças ao seu projeto de lubrificação totalmente livre de óleo, tornam‑se o equipamento central de fornecimento de ar nas salas limpas. Na região de Nantong, tais equipamentos devem estar em plena conformidade com a norma ISO 8573‑1, Classe 0, garantindo que o ar de saída apresente teor de óleo igual a zero.
Etapa crucial da comissionamento do compressor de ar
- Calibração dos parâmetros de pressão e temperatura do circuito de ar e do sistema de refrigeração
- Detecção da fase dos engrenagens de sincronização do eixo principal e da folga entre os rotores
- Verificação da lógica de controle integrado do secador, do filtro e do compressor de ar
- Teste de taxa de vazamento em dutos de ar limpo ≤0.1% /h）
Falhas comuns e pontos-chave de manutenção
Durante a operação, caso ocorram elevação anormal da temperatura de exaustão, grandes flutuações de pressão ou ultrapassagem do ponto de orvalho, é necessário investigar com prioridade: obstrução do filtro de admissão, redução da eficiência do ventilador de arrefecimento, desgaste dos rolamentos de precisão e deriva dos sensores do sistema de controle. Os trabalhos de manutenção devem ser realizados em ambiente limpo, e todos os elementos de vedação e filtros devem atender aos requisitos de classe de limpeza, a fim de evitar contaminação secundária.
Suporte a serviços de localização
Nantong e suas regiões vizinhas apresentam uma alta concentração de linhas de produção de semicondutores, tornando‑se essenciais capacidades rápidas de comissionamento e manutenção no local. Recomenda‑se estabelecer um mecanismo de monitoramento periódico do estado operacional, que, aliado à análise das tendências dos dados de vibração, temperatura e corrente elétrica, permita identificar antecipadamente os riscos potenciais de falha, garantindo a continuidade e a estabilidade do fornecimento de gases às linhas de produção.